半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理 中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物，分離和處理難度比較大。

耀先環(huán)境廢氣粉塵治理13年經(jīng)驗

       半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣處理焚燒爐RTO技術(shù)工藝原理介紹：

       焚燒爐RTO技術(shù)工藝其原理是有機廢氣經(jīng)過旋轉(zhuǎn)分配閥進(jìn)入蓄熱室預(yù)熱，然后進(jìn)入氧化室，加熱升溫到800℃以上使有機廢氣氧化分解成CO2和H2O；從而凈化廢氣，并回收廢氣分解時所釋放出來的熱量，廢氣分解效率高達(dá)99.5 %，熱利用效率達(dá)到95%以上。旋轉(zhuǎn)式RTO實現(xiàn)爐體和閥門的相對獨立，同時便于安裝與維護(hù)，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。廢氣通過連續(xù)運轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)分配閥交替均勻引入，氣流順暢，出口波動范圍小，12個蓄熱室交替工作，節(jié)約設(shè)備能耗。旋轉(zhuǎn)式RTO是我公司在消化、吸收外技術(shù)的基礎(chǔ)上，采取“引進(jìn)+積累+改進(jìn)+創(chuàng)新”的方式，自主研發(fā)設(shè)計的一款有機廢氣治理設(shè)備。

       半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理焚燒爐RTO設(shè)備的優(yōu)勢：

       1、設(shè)有安全泄溫閥，若燃燒室溫＞設(shè)置限值，泄溫閥開啟，確保安全溫度運轉(zhuǎn)；

       2、整套系統(tǒng)采用PLC全自動化控制技術(shù)，節(jié)能省力，實現(xiàn)無人控制、自動報警，安全可靠；

       3、設(shè)有泄爆口，若爐內(nèi)壓力大幅度提升，泄爆口自動開啟，合理泄除壓力，確保正常運轉(zhuǎn)；

       4、多級安全防護(hù)系統(tǒng)，確保蓄熱焚燒爐設(shè)備系統(tǒng)安全穩(wěn)定運行；

       5、壓力波動小，出口濃度波動?。?/span>

       6、占地面積小。

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